FinFET全称Fin Field-Effect Transistor,中文名叫鳍式场效应晶体管,是一种新的互补式金氧半导体晶体管。FinFET命名根据晶体管的形状与鱼鳍的相似性。其电子显
FinFET源自于传统标准的晶体管—场效应晶体管(Field-Effect Transistor,FET)的一项创新设计。在传统晶体管结构中,控制电流通过的闸门,只能在闸门的一侧控制电路的接通与断开,属于平面的架构。在FinFET的架构中,闸门成类似鱼鳍的叉状3D架构,可于电路的两侧控制电路的接通与断开。 这种设计可以大幅改善电路控制并减少漏电流(leakage),也可以大幅缩短晶体管的栅长。
FinFeT与平面型MOSFET结构的主要区别在于其沟道由绝缘衬底上凸起的高而薄的鳍构成,源漏两极分别在其两端,三栅极紧贴其侧壁和顶部,用于辅助电流控制,这种鳍形结构增大了栅围绕沟道的面,加强了栅对沟道的控制,从而可以有效缓解平面器件中出现的短沟道效应,大幅改善电路控制并减少漏电流,也可以大幅缩短晶体管的栅长,也正由于该特性,FinfeT无须高掺杂沟道,因此能够有效降低杂质离子散射效应,提高沟道载流子迁移率。
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